日前,由中国计量院联合常州市计量所研制的“新型多功能1m激光比长仪装置”,在常州市计量所完成线纹尺测量精度测试。该装置实现了线纹尺测量不确定度U=(0.1+0.1L)μm(k=3,L:m),重复性优于30nm,达到了国内先进水平,可以满足目前已有线纹尺的动态高精度校准,有效提升了相关计量技术机构的一维长度精密测量能力水平。
作为常州、无锡等长三角地区城市传统和优势产业的装备制造业,近年来朝着“技术含量高、附加值高”的高端装备制造方向发展。这对制造业的“眼睛”——长度几何量测量的精度、范围、种类等提出了新的更高要求。为此,由中国计量院和常州市计量所牵头,联合无锡市计量测试中心、长春理工大学、中航工业青岛前哨精密仪器有限公司等多家单位,开展了“新型多功能1m激光比长仪”的研制,旨在为常州、无锡计量技术机构分别搭建一套多功能、可扩展的一维精密测长设备和科研实验平台,提升其对周边地区高端装备制造业在线纹尺等长度标准器校准及其它长度几何量精密测量方面的服务能力。据中国计量院副研究员孙双花介绍,装置借鉴了中国计量院“激光干涉比长仪线纹工作基准”的精密激光干涉测长、高精度光电显微镜动态瞄准、精密气浮控制等关键技术,可实现线纹尺、激光干涉仪及位移传感器等的动态高精度校准。装置主体采用天然花岗岩结构,基于变形分析和建模进行了精心设计,床身尺寸3.4m×1m×0.7m,整体重量达9吨,导轨直线度实测优于1μm/m,可有效避免移动工作台导致的机械变形,抗震性能好,长期稳定性优。此外,显微镜工作距离达到28mm,适用于各种厚度的线纹尺刻线面朝向物镜或背向物镜检测,线纹尺校准与其使用状态一致,保障了量值传递的精度和可靠性。
据悉,近年来,常州市计量所与中国计量院开展了全方位的交流与合作,双方先后签署科技交流合作协议和提升层次扩展领域的战略合作协议。2016年6月14日—16日,中国计量院院长方向来常开展“走进常州,服务产业”专题调研,并主讲“常州计量大讲堂”,为重点计量产品生产企业负责人、部分工业和服务业标杆企业负责人、部分高校及科研院所代表作“计量是科技创新和转型升级的前提”专题讲座。